中走丝线内圆切割技术及切割机床验收标准
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中走丝线切割加工中同内圆切割技术相比有其明显的弱点，一是片厚平均误差较大（约为内圆切割技术2倍）。二是切割过程中智能检测控制不易实现。三是切割过程的成功率要求较高，风险大，一但断丝而不可挽救时，直接浪费一根单晶棒。四是不能实现单片质量控制，一次切割完成后，才能检测一批圆片的切割质量，并且圆片之间切割质量也不相同。
在这些方面，电火花线切割内圆切割技术却显示出其优越性来。具体表现在：
a、自动、单片方式切换操作方便性。、
b、小批量多规格加工时灵活的加工可调性。
c、切片精度高，切片成本低，同规格级的内圆切片机价格为线切割机价格1/3～1/4，线切割机还需配置专用粘料机，每片都可调整。
d、低成本的辅料（线切割机磨料及磨料液要定时更换）。
e、不同片厚所需较小的调整时间，不同棒径所需较小的调整时间。f、修刀、装刀方便。八十年代中后期人们普遍认为：随着硅晶片大片径化发展，线切割技术是硅片切割的主流技术，在规模化晶圆片切割中将取代内圆切割技术。因此人们加大了对200mm以上线切割机的研究，以解决其技术不足。
中走丝线切割机床预验收的目的是为了检查、验证机床能否满足用户的加工质量及生产率，检查供应商提供的资料、备件。其主要工作包括：
（1）检验机床主要零部件是否按合同要求制造。
（2）各机床参数是否达到合同要求。
（3）检验机床几何精度及位置精度是否合格。
（4）机床各动作是否正确。
（5）对合同未要求部分检验，如发现不满意处可向生产厂家提出，以便及时改进。
（6）对试件进行加工，检查是否达到精度要求。
（7）做好预验收记录，包括精度检验及要求改进之处，并由生产厂家签字。
